■無機反応受託研究開発 ■大量昇華精製受託

■極低温プローバ―（コンパクトモデル NISP）、静電塗布装置 ■H-Square製品（ハンドリングツール）、光学＆電気測定用クライオスタット ■オープンクリーンシステム　他

名古屋工業大学では、文部科学省「先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業」において大型設備基盤センターに設置されている表面分析装置を、民間企業や大学等の皆様に広く開放して、材料開発の高度化を推進する事業を展開しています。11台の表面分析装置（FE-SEM,SPM,FE-EPMA,FE-AES,SIMS,ESCA,MALDI-MS,XCT,SXES,TOF-SIMS,L-FE-SEM)がご利...

TBD

■高精度卓上型ラッピングポリッシングマシンFACT200 ■高精度卓上型ラッピングポリッシングマシンNF300 ■高精度卓上縦型研削装置NVG200A

■レーザーラマン顕微鏡 RAMANtouch ■広視野ラマンスコープ RAMANview

■原子間力顕微鏡・温度コントロ－ラ－・クライオスタット（冷凍機）■スタ－リングサイクル冷凍機

■液体ヘリウム顕微用クライオスタット ■無冷媒クライオスタット ■温度センサ ■温度モニタ

■高感度CCD、EMCCD、ICCD検出器 ■高感度近赤外2次元InGaAs検出器 ■無収差型高性能分光器

■各種光学フィルター

TBD

■分光エリプソメーター ■DLTS ■ライフタイム測定装置

■卓上走査電子顕微鏡 NeoScope?　JCM-6000

■レーザラマン分光光度計

■EPIREVO G8 枚葉式200mm GaN-onSi MOCVD装置 ■EPIREVO S6 枚葉式150mm SiCエピタキシャル成長装置 ■HE2000FD 枚葉式200mm シリコンエピタキシャル成長装置

■光コム ■レーザ光源　他