13:15 〜 13:30
〇石塚 典男1、佐久間 憲之1、小野瀬 保夫2 (1.日立研開、2.日立オートモティブシステムズ)
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セッション情報
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[14p-1C-1~16] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年9月14日(月) 13:15 〜 17:30 1C (135)
座長:中村 友二(富士通研),筑根 敦弘(大陽日酸)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:30 〜 13:45
〇栩野 貴充1、飯田 達矢1、安田 雅昭1、川田 博昭1、平井 義彦1 (1.大府大院工)
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13:45 〜 14:00
〇菅原 陽平1、木野 久志2、福島 誉史1,3、李 康旭3、小柳 光正3、田中 徹1,4 (1.東北大院工、2.東北大学際研、3.東北大未来研、4.東北大院医工)
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14:00 〜 14:15
〇谷川 星野1、木野 久志2、福島 誉史1、小柳 光正3、田中 徹1,4 (1.東北大院工、2.東北大学際研、3.東北大未来研、4.東北大院医工)
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14:15 〜 14:30
〇(M1)西尾 賢哉1、真田 俊之1、福永 明2、檜山 浩國2 (1.静大工、2.荏原製作所)
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14:30 〜 14:45
〇(DC)金 泰雄1、Momose Takeshi1、Takaaki Tsunoda2、Moriwaki Takayuki2、Nakagawa Takashi2、Shimogaki Yukihiro1 (1.The Univ. of Tokyo、2.CANON ANELVA CORPORATION)
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14:45 〜 15:00
〇須田 隆太郎1、八木 麻実子1、小島 明1、白樫 淳一1、越田 信義1 (1.農工大・院･工)
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15:00 〜 15:15
〇張 旭1、橋本 修一郎1、武井 康平1、ソン セイ1、徐 泰宇1、麻田 修平1、臼田 稔宏1、富田 基裕1,2,3、今井 亮佑3、小椋 厚志3、松川 貴4、昌原 明植4、渡邉 孝信1 (1.早大理工、2.学振特別研究員PD、3.明大理工、4.産総研)
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休憩 (15:15 〜 15:30)
15:30 〜 15:45
〇曽根川 富博1、小山 礼朗1 (1.琉球大工)
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15:45 〜 16:00
〇高橋 信広1、柿本 明修1、岡田 充弘1、小森 克彦1 (1.東京エレクトロン東北)
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16:00 〜 16:15
〇岡本 裕二1,2、Dahmani Fatima Zohra3、堤 大耀4、石垣 隆正4、角谷 正友1 (1.物材機構、2.筑波大、3.USTO-MB、4.法政大)
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16:15 〜 16:30
〇伊高 健治1、角谷 正友2、橋本 拓也3 (1.弘前大学、2.物材機構、3.日大)
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16:30 〜 16:45
〇山田 彩未1、松井 美沙子1、羽深 等1 (1.横国大院工)
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16:45 〜 17:00
〇宮崎 賢都1、齋藤 あゆ美1、松井 美沙子1、羽深 等1 (1.横国大院工)
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17:00 〜 17:15
桜井 あゆみ1、齋藤 あゆ美1、〇羽深 等1 (1.横国大院工)
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17:15 〜 17:30
〇齋藤 あゆ美1、桜井 あゆみ1、羽深 等1 (1.横浜国大院工)
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