[16a-2Q-10~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2015年9月16日(水) 11:15 〜 12:15 2Q (231-1)

座長:野崎智洋(東工大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

11:15 〜 11:30

[16a-2Q-10] 高圧水素プラズマ化学輸送法によるシリコンナノワイヤ形成における金属触媒の影響

〇竹本啓輝¹、垣内弘章¹、安武潔¹、大参宏昌¹ (1.阪大院工)

11:30 〜 11:45

〇藤原裕史¹、辻博司¹、後藤康仁¹ (1.京大院工)

11:45 〜 12:00

〇諸橋信一¹、原田直幸¹、村田卓也¹ (1.山口大)

12:00 〜 12:15

〇大島多美子¹、山田創介¹、川崎仁晴¹、柳生義人¹、猪原武士¹、須田義昭¹ (1.佐世保高専)