[16a-4E-9~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2015年9月16日(水) 11:15 〜 12:15 4E (437)

座長:山本治朗(日立)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

11:15 〜 11:30

△ [16a-4E-9] 12.5 nm HPレジスト評価用EUV二光束干渉露光系の透過型回折格子の製作

〇(M1)福田裕貴¹、福井翼¹、谷野寛仁¹、原田哲男¹、渡邊健夫¹ (1.兵県大)

11:30 〜 11:45

〇岡田真¹、松井真二¹ (1.兵県大高度研)

11:45 〜 12:00

〇星野亮一¹、河田敦¹、國武雅司²、落合俊介³、髙山智寛³、岸村由紀子³、浅田裕法³ (1.グルーオンラボ、2.熊本大学、3.山口大学)

12:00 〜 12:15

〇山口徹¹、小村元憲³、長井圭治²、藤原聡¹、山口浩司¹、彌田智一² (1.NTT物性基礎研、2.東工大資源研、3.沼津高専)