2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年9月13日(日) 09:00 〜 11:45 1C (135)

座長:河本 直哉(山口大),松尾 直人(兵庫県立大)

09:00 〜 09:15

[13a-1C-1] ドーピングシートによるシリコン基板へのボロンレーザードーピング

富澤 由香1、今村 哲也1、〇池田 吉紀1、城 尚志1,2 (1.帝人株式会社、2.ナノグラムコーポレーション)

キーワード：レーザードーピング