[13a-2A-1~10] 3.2 材料・機器光学

△ [13a-2A-9] 高屈折率ルチル型TiO₂薄膜の低温作製と光学薄膜への応用

〇(M2)石井 暁大¹、及川 格¹、伊村 正明²、金井 敏正²、高村 仁¹ (1.東北大工、2.日本電気ガラス)

キーワード：光学薄膜、高屈折率、TiO2薄膜

高屈折率ルチル型TiO₂薄膜を反射防止膜や誘電体ミラー等の光学薄膜に用いることが出来れば反射特性向上や設計自由度拡張が期待されるが、ルチル型TiO₂薄膜の作製に高温が必要なため、これは未だに実現されていない。本研究ではAl添加によるTiO₂薄膜中の結晶成長制御技術を開発し、高屈折率ルチル型TiO₂薄膜の低温作製を可能にした。更に、高屈折率Al添加ルチル型TiO₂薄膜を用いて実際に誘電体ミラーを作製し、その反射性能を評価した。