[13a-2B-1~12] 12.7 医用工学・バイオチップ

[13a-2B-1] 表面プラズモンアンテナ付ＳＯＩフォトダイオードを用いたショ糖水溶液の屈折率測定における性能評価

〇佐藤 弘明^1,2、岩田 将平²、小野 篤史^1,2、猪川 洋^1,2 (1.静岡大電子研、2.静岡大院工)

キーワード：SOIフォトダイオード、表面プラズモンアンテナ、屈折率測定

本報告では、表面プラズモンアンテナ付SOI (silicon-on-insulator)フォトダイオードを用いたショ糖水溶液の屈折率測定を報告する。種々の濃度を有するショ糖水溶液を表面プラズモンアンテナ近傍に送液し、本フォトダイオードの応答をセンサグラムとして観測した結果から、屈折率測定における感度や検出限界について評価した。光検出器埋め込み型の新しい集積化バイオセンサーとして期待される。