[13a-2Q-1~13] 6.4 Thin films and New materials

△ [13a-2Q-1] Fabrication of surface-relief gratings with nanometer-scale periodicity towards growth of fully oriented films on glass

〇Kazuki Ohashi¹, Tetsuya Kudoh¹, Takayoshi Oshima¹, Kohei Yoshimatsu¹, Akira Ohtomo^1,2 (1.Tokyo Tech, 2.MCES)

Keywords:graphoepitaxy,in-plane orientation,self-assembly

回折格子様の立体的かつ周期的な微細構造を形成すると，ガラス基板上でも薄膜材料との界面エネルギーに異方性が生じる．この機構を利用した3次元配向薄膜の成長手法はグラフォエピタキシーと呼ばれている．薄膜の面内配向性の指標となるツイスト角分散度は，微細構造の周期が小さくなるほど向上することが知られている．本研究では，これまでに報告例がない周期が500 nm以下の微細構造を作製し，ツイスト角分散を低減することを目的としている.