[13a-2Q-1~13] 6.4 薄膜新材料

△ [13a-2Q-1] ガラス上の3次元高配向薄膜成長に向けたナノスケール周期微細構造の作製

〇大橋 一輝¹、工藤 徹也¹、大島 孝仁¹、吉松 公平¹、大友 明^1,2 (1.東工大院理工、2.元素戦略)

キーワード：グラフォエピタキシー、面内配向性、自己組織化

回折格子様の立体的かつ周期的な微細構造を形成すると，ガラス基板上でも薄膜材料との界面エネルギーに異方性が生じる．この機構を利用した3次元配向薄膜の成長手法はグラフォエピタキシーと呼ばれている．薄膜の面内配向性の指標となるツイスト角分散度は，微細構造の周期が小さくなるほど向上することが知られている．本研究では，これまでに報告例がない周期が500 nm以下の微細構造を作製し，ツイスト角分散を低減することを目的としている.