[13a-2Q-1~13] 6.4 Thin films and New materials

△ [13a-2Q-9] In situ high-speed ellipsometry diagnosis of ionic liquid nano-thin film deposition

〇KAHO TOYABE¹, SHINGO MARUYAMA¹, YUJI MATSUMOTO¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:ionic liquid,nano-thin film

これまで真空蒸着によるイオン液体のナノ薄膜化やその伝導度の報告をしてきたが、ナノ薄膜の成長過程については未解明な部分が多い。エリプソメトリはこれまで用いてきた水晶振動子式膜厚計(QCM)よりも精密にサンプル上の膜厚を規定できるだけでなく、成長過程を知る手がかりとなる可能性がある。そこで、イオン液体をナノスケールで蒸着しながら、高速エリプソメータによってその場観察を行ったので報告する。