[13a-2Q-1~13] 6.4 薄膜新材料

△ [13a-2Q-9] 高速エリプソメータによるイオン液体ナノ薄膜蒸着過程のその場観察

〇鳥屋部 果穂¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：イオン液体、ナノ薄膜

これまで真空蒸着によるイオン液体のナノ薄膜化やその伝導度の報告をしてきたが、ナノ薄膜の成長過程については未解明な部分が多い。エリプソメトリはこれまで用いてきた水晶振動子式膜厚計(QCM)よりも精密にサンプル上の膜厚を規定できるだけでなく、成長過程を知る手がかりとなる可能性がある。そこで、イオン液体をナノスケールで蒸着しながら、高速エリプソメータによってその場観察を行ったので報告する。