[13a-2S-1~8] 3.15 Silicon photonics

[13a-2S-1] Athermal Si-wire Waveguide by using TiO₂ Hybrid Polymer Cladding

〇Wataru Mashiko¹, Tomohiro Kita¹, Mieko Masaka², Freddy Tan², Hirohito Yamada¹, Daisuke Inoue³, Tatsuya Yamashita³, Manabu Kagami³, Okihiro Sugihara² (1.Tohoku Univ., 2.Utsunomiya Univ., 3.Toyota Central R&D Labs.)

Keywords:Athermal,Hybrid Polymer,Si-wire

Si細線光導波路の温度無依存化には、クラッドにSiとは逆の負の熱光学定数を持つ材料を選び、Siの熱光学効果を補償することが有効である。本研究で用いるクラッド材料はポリマとTiO₂微粒子の混成物であり、従来の単体材料とは異なり、TiO₂濃度により熱光学定数を調整できる。このTiO₂微粒子ハイブリッドポリマの通信波長帯での熱光学定数のTiO₂濃度依存性を評価し、さらにこれを用いてSi細線導波路の温度無依存化を試みた結果を報告する。