[13a-2S-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[13a-2S-1] TiO₂微粒子ポリマクラッドによるSi細線光導波路の温度無依存化

〇増子 航¹、北 智洋¹、眞坂 美江子²、タン フレディ²、山田 博仁¹、井上 大介³、山下 逹弥³、各務 学³、杉原 興浩² (1.東北大工、2.宇都宮大、3.豊田中研)

キーワード：温度無依存化、ハイブリッドポリマ、Si細線

Si細線光導波路の温度無依存化には、クラッドにSiとは逆の負の熱光学定数を持つ材料を選び、Siの熱光学効果を補償することが有効である。本研究で用いるクラッド材料はポリマとTiO₂微粒子の混成物であり、従来の単体材料とは異なり、TiO₂濃度により熱光学定数を調整できる。このTiO₂微粒子ハイブリッドポリマの通信波長帯での熱光学定数のTiO₂濃度依存性を評価し、さらにこれを用いてSi細線導波路の温度無依存化を試みた結果を報告する。