[13a-2S-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[13a-2S-3] マルチモード光ピンに接続する浅掘りグレーティングカプラ

〇牛田 淳¹、徳島 正敏¹、上村 寿憲¹、蔵田 和彦¹ (1.光電子融合基盤技術研究所)

キーワード：グレーティングカプラ、光ピン、シリコンフォトニクス

光ピンに接続するための浅堀りグレーティングカプラの設計を行い，上方放射効率を改善する構造パラメタを同定した．その効率は，エッチング深さとSOI厚さに対して作製裕度が高い．