[13a-2S-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス

[13a-2S-6] SiO_xスポットサイズ変換器を集積したオンSiメンブレン分布反射型レーザ

〇西 英隆^1,2、藤井 拓郎^1,2、武田 浩司^1,2、長谷部 浩一^1,2、硴塚 孝明^1,2、土澤 泰^1,2、山本 剛¹、山田 浩治^1,2、松尾 慎治^1,2 (1.NTT先端集積デバイス研、2.NTTナノフォトニクスセンタ)

キーワード：DRレーザ、スポットサイズ変換器、SiOx導波路

レーザのファイバ実装コスト低減、およびSiフォトニクスデバイスとの集積に向けて、オンSiメンブレンDRレーザとSiOxスポットサイズ変換器（SSC）を集積した。高NAファイバのバットカップルが可能となり、従来の先球ファイバを使用した場合に比べて、ファイバ接続損失を約6dB改善し、レーザとSiOx-SSCの集積に成功したことを確認した。