[13a-2T-1~12] 9.4 熱電変換

[13a-2T-10] Fe₂VAl系薄膜熱電材料の熱電特性

〇竹内 恒博^1,2,3、廣井 慧¹、三上 祐史⁴ (1.豊田工大、2.ＪＳＴさきがけ、3.名大GREMO、4.産総研)

キーワード：金属間化合物、RFスパッタ法、格子熱伝導度

安価で環境に優しいFe₂VAl系熱電材料は，大きな出力因子，耐腐食性，耐酸化性，高強度で特徴づけられ，次世代熱電在朝として期待されている．本研究では，RFスパッタ法を用いてFe₂VAl系熱電材料を薄膜化した結果，比較的良い電子物性を維持しつつ．格子熱伝導度が著しく低減した結果を報告する．また，スパッタ条件による組織変化について詳しく報告する予定である．