2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[13a-2W-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 09:30 〜 11:45 2W (234-2(北側))

座長:澤野 憲太郎(東京都市大)

09:30 〜 09:45

[13a-2W-1] Si及びSiO2上に製膜した非晶質Ge膜の固相結晶成長に関する検討(Ⅱ)

〇黒岩 杏太1、金子 哲也1、磯村 雅夫1 (1.東海大院工)

キーワード:ゲルマニウム、固相成長