2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[13a-2W-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 09:30 〜 11:45 2W (234-2(北側))

座長:澤野 憲太郎(東京都市大)

10:45 〜 11:00

[13a-2W-6] パルスレーザーアニールによる非晶質GeSn/絶縁膜の非熱平衡成長

〇(M1)茂藤 健太1、松村 亮1,2、佐道 泰造1、池上 浩1、宮尾 正信1 (1.九大院システム情報、2.学振特別研究員)

キーワード：GeSn、レーザーアニール