2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[13a-2W-1~9] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 09:30 〜 11:45 2W (234-2(北側))

座長:澤野 憲太郎(東京都市大)

11:15 〜 11:30

[13a-2W-8] 横方向液相成長法による石英基板上単結晶GeSn細線の作製と光学特性評価

〇(M2)天本 隆史1、冨永 幸平1、田中 章吾1、細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)

キーワード:GeSn、液相成長

近年ディスプレイとLSIを一体形成するシステムオンパネル技術が注目されており、Ⅳ族の発光素子用材料として期待されるGeまたはGeSnのガラス基板上形成が重要である。これを目指して、横方向液相成長法を用いた石英基板上でのGeSn単結晶成長を検討した。石英基板を用いることで引張り歪みが増加した結果、発光特性が大幅に向上しており、これは将来的にGeを用いた発光素子を作製するに向けて、非常に意義のある研究結果であると言える。