[13p-1B-1~10] 界面ナノ電子化学　「進化する半導体ウェットプロセス　～シリコンから化合物まで～」

△ [13p-1B-7] SiO₂の固体壁面における水およびアルコールの吸着挙動の分子動力学解析

〇中岡 聡¹、山口 康隆¹、川上 雅之²、矢野 大作²、山中 弘次² (1.阪大工、2.オルガノ)

キーワード：分子動力学、半導体、アルコール