[13p-1C-1~15] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13p-1C-12] 小型チェンバーを用いた高速ガス置換浅堀りボッシュプロセス

〇田中 宏幸^1,2、小木曽 久人^1,2、中野 禅^1,2、速水 利泰^2,3、宮崎 俊也^2,3、富阪 賢一^2,3、手錢 永充^2,3、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)

キーワード：ミニマル、MEMS、ICP

【従来】ボッシュプロセスは、ボッシュサイクル毎にスキャロップが発生する問題点があった。一方、ノンボッシュは、裾を引いたような形状となる問題があった。【本研究】では、極小チェンバーを用いた高速ガス置換によるスキャロップフリー形状と、対レジスト高選択比を維持した急峻なエッチング形状を実現した。このことにより、浅堀りプロセスへ適応したところミニマルリソグラフィの実効的な解像度を向上させることができた。