[13p-1C-1~15] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13p-1C-13] ミニマルウェハ微粒子スキャナのスキャニング方式評価

〇遠江 栄希¹、田島 奈穂子^1,3、吾妻 俊樹²、名倉 義信²、飯田 健次郎^1,3、クンプアン ソマワン^1,3、原 史朗^1,3 (1.ミニマルファブ、2.山梨技術工房、3.産総研)

キーワード：微粒子、ミニマル

従来、大口径ウェハの表面微粒子検出には、高額で巨大な装置が必要となる問題があり、測定は当然クリーンルームを前提とする。本研究では、クリーンルームレスの環境下で、ウェハ微粒子測定が可能で、かつ人サイズまで小型化したミニマル装置を開発した。ミニマルウェハΦ12.5mmに対し、当初X-Yスキャン方式により測定可能領域はΦ9.0ｍｍであったが、今回螺旋スキャン方式を採用し、Φ11.5mmの領域の径0.152μmの粒子まで検出可能となった。