[13p-1C-1~15] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13p-1C-2] ミニマルファブによる素子分離プロセスを用いたリングオシレータの作製

〇居村 史人^1,2、古賀 和博^1,2、梅山 規男^1,2、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)

キーワード：ミニマルファブ

論理回路の基本素子であるインバータ回路について抵抗負荷型pMOSインバータを作製することによって、ミニマルファブは十分なクリーン性能を有し、デバイスが作製できる製造システムであることを実証してきた。複数のトランジスタで構成された論理回路を動作させることは達成されていなかったため、SOIウェハを用いた素子分離プロセスにより、pMOSインバータで構成したリングオシレータを作製したので報告する。