PDF ダウンロード スケジュール 14 いいね! 0 16:00 〜 16:15 △ [13p-1D-11] トリハライド気相成長法を用いたInGaN厚膜成長 〇平崎 貴英1、目黒 美佐稀1、ティユ クァン トゥ2、村上 尚1、熊谷 義直1、モネマー ボ2,3、纐纈 明伯1 (1.農工大院工、2.農工大GIRO、3.Linköping Univ.) キーワード:窒化物半導体、InGaN、ハイドライド気相成長法