[13p-1D-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-1D-17] ファセット表面加工基板上に成長した深紫外LED用高品質AlNテンプレート

〇金沢 裕也^1,2、平山 秀樹¹、前田 哲利¹、定 昌史¹、鎌田 憲彦²、鹿嶋 行雄³、松浦 恵里子³、嶋谷 聡⁴、小久保 光典⁵、田代 貴晴⁵、大川 貴史⁶、上村 隆一郎⁶、長田 大和⁶ (1.理研、2.埼玉大、3.丸文、4.東京応化、5.東芝機械、6.アルバック)

キーワード：表面加工基板、ウエットエッチング、窒化アルミニウムテンプレート

フォトリソグラフィ/ナノインプリント技術によって作製した6μm周期の三角格子パターンのウエットエッチングPSS上にMOCVDを用いてAlNを成膜した。異常成長が少なく平坦化が期待され、ボイドが観測された。