PDF ダウンロード スケジュール 23 いいね! 0 13:30 〜 13:45 [13p-1D-2] 酸性アモノサーマル法による高品位GaN高速育成 〇斉藤 真1,2、包 全喜1,3、栗本 浩平1,3、冨田 大輔1、小島 一信1、山崎 芳樹1、鏡谷 勇二2、茅野 林造3、石黒 徹1、秩父 重英1 (1.東北大学 多元研、2.三菱化学(株)、3.(株)日本製鋼所) キーワード:アモノサーマル、バルク、窒化ガリウム