2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-1D-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 20:15 1D (141+142)

座長:斉藤 真(三菱化学),岡田 成仁(山口大),岩谷 素顕(名城大)

15:00 〜 15:15

△ [13p-1D-8] X線マイクロ回折法による半極性面(20-21)GaN厚膜の欠陥分布評価

〇内山 星郎1、竹内 正太郎1、荒内 琢士1、橋本 健宏2、山根 啓輔3、岡田 成仁2、今井 康彦4、木村 滋4、只友 一行2、酒井 朗1 (1.阪大院基礎工、2.山口大院理工、3.豊橋技科大、4.JASRI/SPring-8)

キーワード：半極性、X線マイクロ回折、窒化ガリウム