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[13p-1E-11] 多波回折条件下における高位置分解能X線トポグラフィ
I. 原理と特長
キーワード:高空間分解能X線トポグラフィ、多波回折、転位
X線トポグラフィを多波回折条件下で、かつ回折波ではなく透過波(000-反射波)を撮像することで、転位等の格子欠陥の位置がg-ベクトルに依存して移動することなく、かつ結晶全体像に変形がないX線トポグラフィが実行できた。また、撮像に際してCMOSアレイと蛍光材から成るX線検出器を使用するので、乳剤使用時のような転位像コントラストの飽和が無く、転位からの回折強度に比例して、線幅の細い転位像が得られるので、結果として空間的位置分解能の高いX線トポグラフが得られる。