[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-11] 多波回折条件下における高位置分解能Ｘ線トポグラフィ
I. 原理と特長

〇松井 純爾¹、津坂 佳幸²、竹田 晋吾³、高野 秀和²、横山 和司¹、篭島 靖² (1.兵庫県大放射光ナノテク、2.兵庫県大院物質理学、3.スプリングエイトサービス)

キーワード：高空間分解能Ｘ線トポグラフィ、多波回折、転位

Ｘ線トポグラフィを多波回折条件下で、かつ回折波ではなく透過波（000-反射波）を撮像することで、転位等の格子欠陥の位置がg-ベクトルに依存して移動することなく、かつ結晶全体像に変形がないＸ線トポグラフィが実行できた。また、撮像に際してCMOSアレイと蛍光材から成るＸ線検出器を使用するので、乳剤使用時のような転位像コントラストの飽和が無く、転位からの回折強度に比例して、線幅の細い転位像が得られるので、結果として空間的位置分解能の高いＸ線トポグラフが得られる。