2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2015年9月13日(日) 13:15 〜 18:00 1E (143)

座長:小野 敏昭(SUMCO),関口 隆史(NIMS)

17:15 〜 17:30

[13p-1E-15] Siウェーハ中のゲッタリング現象に関する熱統計モデリング

神山 栄治1,2、〇末岡 浩治1 (1.岡山県大情報工、2.グローバルウェーハズ)

キーワード：Siウェーハ、ゲッタリング