PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 14:00 〜 14:15 [13p-1E-4] MCZシリコン単結晶のバルクライフタイムに対する低炭素化の効果(3) 〇日笠 光朗1、中川 聰子1、鹿島 一日兒1、永井 勇太1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン) キーワード:シリコン結晶、ライフタイム、炭素