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[13p-1E-5] レーザビーム屈折を用いた自由キャリアのバルク寿命評価: I. 原理実証
キーワード:キャリア寿命、レーザ、屈折
シリコンウェーハのバルクキャリア寿命を評価するための新原理を提案し,実現可能性を示す.波長1064 nmのYAGレーザをウェーハに定常照射してウェーハ内部にフリーキャリアの濃度分布をつくる.YAGビームと平行に赤外レーザビームをウェーハに透過させ,ビーム間の距離を変えながら赤外ビームの屈折角を測定することでフリーキャリアの濃度分布を求め,その結果から寿命を求める.