[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-6] レーザビーム屈折を用いた自由キャリアのバルク寿命評価: II. 評価装置と測定例

〇金田 寛¹、大村 一郎¹ (1.九工大院工)

キーワード：キャリア寿命、レーザ、屈折

定常的なレーザ励起によってウェーハ内部に生成されたフリーキャリアの濃度分布をもう一つのレーザビームの屈折を観測することによって求めるという技術を可能にする装置構成を紹介し，実際にこの装置によって計測した屈折角曲線θ(z)とフリーキャリアの濃度分布C(z) の結果を紹介する．本技術の中核であるフリーキャリアを生成するためのＹＡＧレーザビームと屈折観測用の赤外レーザビームとが互いに平行になるビーム配置を実現する方法を説明する．