[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-9] シリコン結晶中の酸素析出によるボロンの増速拡散

〇鳥越 和尚¹、小野 敏昭¹ (1.SUMCO)

キーワード：シリコン、ボロン、拡散

シリコン結晶中のボロンは格子間シリコンを介したキックアウト機構で拡散する。そのため、シリコンウェーハを酸化性雰囲気で熱処理すると、酸化膜成長で放出される格子間シリコンによってボロンの拡散が増速されることが知られている。今回、我々はシリコン結晶中の酸素析出によってボロンの拡散が増速されることを見出した。その効果を、酸素析出による格子間シリコンの放出、及び、パンチアウト転位による吸収をもとに解析した。