PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 2 14:30 〜 14:45 △ [13p-2F-4] F2レーザーを用いたパルスレーザー堆積法により形成されたナノポーラスSiO2膜の構造解析 〇谷山 大地1、池上 浩1、大久保 智幸1、中村 大輔1、岡田 龍雄1 (1.九大シス情) キーワード:ポーラス膜、低誘電率、F2レーザー