[13p-2F-1~16] 3.7 Laser processing

△ [13p-2F-5] Femtosecond laser ablation on Ti plate under controlling atomosphere.

〇Masayoshi Miyake¹, Masahiro Tsukamoto², Yuji Sato², Takuya Kawa¹, Tetsuya Nakaaze¹, Peng Chen³, Akiko Nagai³, Takao Hanawa³ (1.Grad. Sch. of Eng., Osaka Univ., 2.JWRI, Osaka Univ., 3.Inst. of Biomat. and Bioeng., Tokyo Med. and Dent. Univ.)

Keywords:Femtosecond laser,Periodic nanostructure,controlling atmosphere

Ti基板にフェムト秒レーザーを照射すると電場の偏光方向に垂直な方向に周期的な微細構造が自己組織的に形成される．この周期的微細構造の形成過程において，レーザーアブレーションによって飛散した“デブリ”と呼ばれる微粒子が再付着し，Ti基板上を覆ってしまう．そこで本研究では，微細構造上へのデブリの再付着を低減するために，雰囲気制御下においてTi基板上へ周期的微細構造の形成を試みた．