[13p-2F-1~16] 3.7 レーザープロセシング

△ [13p-2F-7] マイクロ温度センサのフェムト秒レーザ直接還元描画形成

〇溝尻 瑞枝¹、伊藤 恭章²、荒金 駿¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1.名大院工、2.名大工)

キーワード：フェムト秒レーザ微細加工、還元焼結、マイクロ温度センサ

フェムト秒レーザ還元直接描画法を利用して，Cu-rich，Cu₂O-richパターンを選択的に描画し，マイクロ温度センサを作製した．CuOナノ粒子と還元剤からなるCuOナノ粒子溶液をガラス基板上に塗布し，レーザ描画速度を500 µm/s，1000 µm/sとして描画したところ，Cu-rich及びCu₂O-rich還元パターンが形成された．絶対値の大きな抵抗温度係数を有するCu₂O-richパターンをセンサ部，導電性の配線部をCu-richパターンとする，マイクロ温度センサを直接描画形成し，導電性を確認した．