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△ [13p-2F-8] フェムト秒レーザー誘起前方転写法によるクロムナノ構造体の直接形成
キーワード:レーザー誘起前方転写法、フェムト秒パルスレーザー、直接描画
レーザー光を用いた直接描画手法の一つにレーザー誘起前方転写法がある.これまでに報告された同手法による最小の構造物は330 nmのクロムドットである.我々は,フェムト秒パルスレーザーを用いて集光条件などの実験条件を詳細に検討することにより,所定の場所に約100 nmのクロムの単一微小ドットを形成することに成功した.これは,照射ビームの優れた横断面強度分布特性と,精密な光学アライメントに起因しているものと思われる.