[13p-2F-1~16] 3.7 レーザープロセシング

△ [13p-2F-8] フェムト秒レーザー誘起前方転写法によるクロムナノ構造体の直接形成

〇大町 弘毅¹、中村 貴宏¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：レーザー誘起前方転写法、フェムト秒パルスレーザー、直接描画

レーザー光を用いた直接描画手法の一つにレーザー誘起前方転写法がある．これまでに報告された同手法による最小の構造物は330 nmのクロムドットである．我々は，フェムト秒パルスレーザーを用いて集光条件などの実験条件を詳細に検討することにより，所定の場所に約100 nmのクロムの単一微小ドットを形成することに成功した．これは，照射ビームの優れた横断面強度分布特性と，精密な光学アライメントに起因しているものと思われる．