[13p-2F-1~16] 3.7 レーザープロセシング

△ [13p-2F-9] フェムト秒レーザー照射によるシリコンへの表面プラズモンポラリトン励起の実証

〇(M1)萩谷 将人¹、宮地 悟代¹ (1.東京農工大工)

キーワード：フェムト秒レーザープロセス、表面プラズモンポラリトン、シリコン

フェムト秒(fs)レーザーの照射によって固体表面に形成されるナノ構造の周期性は、励起された表面プラズモンポラリトン(SPP)に起因することを示してきた。SPPを実験によって初めて観測するため、周期1300 nmのSi回折格子に波長800 nmのfsレーザーを照射して反射率の角度依存性を調べた。その結果、 p偏光でかつ入射角度25度で反射率が減少した。これはSPPが励起されたことを明確に示している。