[13p-2K-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

[13p-2K-10] ジョセフソン電圧標準を用いたツェナー素子の経時特性評価

〇丸山 道隆¹、浦野 千春¹、金子 晋久¹、山王丸 英二²、米澤 隆仁²、金井 貴宏²、吉田 春雄²、吉野 勇治² (1.産総研、2.エーディーシー)

キーワード：ツェナーダイオード、経時変化特性、ジョセフソン電圧標準

ツェナーダイオードは降伏電圧近傍における定電圧特性を利用し基準電圧源として広く使用されている。なかでも選別されたツェナー素子に温調を施した標準電圧発生器は高安定な直流電圧の二次標準器としても利用される。我々はツェナーモジュールの小型化等により、現場で使いやすい標準電圧発生器を開発した。ジョセフソン電圧標準を用いた測定の結果、大幅に小型化しているにもかかわらず年に2 ppm以内の経時特性が得られた。