[13p-2K-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-2K-3] Real-time measurement of trace moisture in gas using dual-wavelength cavity ring-down spectroscopy

〇Hisashi Abe¹, Koji Hashiguchi¹, Minami Amano¹ (1.NMIJ/AIST)

Keywords:cavity ring-down spectroscopy,high sensitivity

半導体デバイスの製造分野では、材料ガスとして用いる高純度ガス中に不純物として残留する水分の管理のため、物質量分率(モル分率) 100 nmol/mol (100 ppb)以下の領域でのガス中微量水分の計測が重要な課題となっている。私たちは、この領域での水分測定法として、現状で最も信頼性が高いと考えられるキャビティリングダウン分光法(CRDS)を使った、微量水分測定システムの開発を行っている。今回、2つの波長のレーザーを用いてベースライン変動の補正をしながら、ガス中微量水分をリアルタイムに測定できるシステムの開発を開始したので、それについて報告する。