[13p-2K-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-2K-4] Measurement of trace moisture in argon using CRDS-based trace-moisture analyzer

〇MINAMI AMANO¹, HISASHI ABE¹ (1.AIST)

Keywords:trace moisture,humidity standard,cavity ring-down spectroscopy

キャビティリングダウン分光法(CRDS)に基づく市販微量水分計を用いて、多種ガス用微量水分発生装置で発生させたアルゴン中微量水分を測定したところ、測定値がばらつく現象が見られた。同じ発生装置で窒素中水分を発生させた場合には同様の現象が見られないこと、吸収スペクトルの解析からモル分率を求めた場合は標準値とよく一致することから、CRDS微量水分計の連続測定モードに原因があると考えられる。本現象の原因について考察する。