[13p-2K-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-2K-6] Development of nano-indentation manipulator in scanning electron microscope

〇Tetsuo Shimizu¹, Horie Tomoyuki¹, Watanabe Norimichi¹, Onuma Masanori², Kondo Takaya² (1.AIST, 2.YAZAKI Parts)

Keywords:Nano manipulation

自動車には、安全や利便性、快適性のために多くの電子機器が搭載されており、それらを動作させるための電源・信号配線とコネクタの集合体が使われている。低燃費化のためには電気配線・コネクタの小型・軽量化は強く求められる。電気接点の小型･軽量化を実現するために分解能1nmで押し込み深さを調整できる高精度化したマニピュレータをＳＥＭ観察室内に組み込み、同時に接触荷重と精密な接触電気抵抗の計測ができる装置を開発した。