[13p-2K-1~11] 1.5 計測技術・計測標準

[13p-2K-6] 走査電子顕微鏡中のナノインデンテーション装置の開発

〇清水 哲夫¹、堀江 智之¹、渡邉 騎通¹、大沼 雅則²、近藤 貴哉² (1.産業技術総合研究所、2.矢崎部品)

キーワード：ナノマニピュレーション

自動車には、安全や利便性、快適性のために多くの電子機器が搭載されており、それらを動作させるための電源・信号配線とコネクタの集合体が使われている。低燃費化のためには電気配線・コネクタの小型・軽量化は強く求められる。電気接点の小型･軽量化を実現するために分解能1nmで押し込み深さを調整できる高精度化したマニピュレータをＳＥＭ観察室内に組み込み、同時に接触荷重と精密な接触電気抵抗の計測ができる装置を開発した。