[13p-2Q-1~27] 6.4 薄膜新材料

[13p-2Q-17] 異種材料界面におけるマイクロ波吸収を用いた酸化物薄膜形成プロセス

〇佐藤 友香¹、米谷 真人¹、筑紫 洋平¹、椿 俊太郎¹、鈴木 榮一¹、和田 雄二¹ (1.東工大理工)

キーワード：マイクロ波、異種界面、電磁加熱

近年我々はマイクロ波吸収能の低い物質2種を接合させた試料において、各材料のマイクロ波発熱を大きく上回る特異的な発熱を観察している。この現象は異種材料界面に生じた界面分極による誘電損失であると仮説立てている。本研究では、この界面加熱現象を塗布型形成薄膜の焼成プロセスに応用した結果を示す。また、界面加熱の原理解明を目指し、界面双極子と電磁波との相互作用をin-situで測定する検討を行った。