[13p-2Q-1~27] 6.4 Thin films and New materials

[13p-2Q-21] Evaluation of ITiO Film Heater with Near-Infrared-Transparency
for Wavelength-Tunable Filter

〇Hidehiko Yoda¹, Kazuo Shiraishi¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:transparent Heater Film,Near-Infrared Wavelength,Tunable Wavelength Filter

透明ヒータ膜候補としてITiO，ITO，pc-Si:Bを作製し，近赤外波長帯における光吸収率，体積抵抗率を評価した．ITiO膜が唯一，光吸収率3%以下かつ体積抵抗率10^-2W･cm以下の性能目標を満足した．ITiO膜について消費電力負荷試験を行い，膜厚300nmのITiO膜では消費電力0.8Wで抵抗率が安定であることを示し，ITiO膜がチューナブル波長フィルタ用の透明ヒータ膜材料に適することを実証した．