[13p-2Q-1~27] 6.4 薄膜新材料

[13p-2Q-21] 近赤外波長フィルタ用ITiO透明ヒータ膜の特性評価

〇依田 秀彦¹、白石 和男¹ (1.宇都宮大院工)

キーワード：透明ヒータ膜、近赤外波長、チューナブル波長フィルタ

透明ヒータ膜候補としてITiO，ITO，pc-Si:Bを作製し，近赤外波長帯における光吸収率，体積抵抗率を評価した．ITiO膜が唯一，光吸収率3%以下かつ体積抵抗率10^-2W･cm以下の性能目標を満足した．ITiO膜について消費電力負荷試験を行い，膜厚300nmのITiO膜では消費電力0.8Wで抵抗率が安定であることを示し，ITiO膜がチューナブル波長フィルタ用の透明ヒータ膜材料に適することを実証した．