[13p-2Q-1~27] 6.4 薄膜新材料

[13p-2Q-27] 金属-EDTA錯体由来のY₂O₃膜の熱衝撃耐性

〇(B)淡 エンキン¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：金属EDTA錯体、酸化イットリウム、熱衝撃耐性

キレートフレーム法で得られる金属酸化物膜は、従来のプラズマ溶射法と比較して、安価に緻密な膜を得ることができる。また、得られた金属酸化物膜は、急激な加熱-冷却過程を経ても剥離せずに堆積が可能であり、高い熱衝撃性能を持つことが期待される。そこでEDTA・Y・Hを原料としてキレートフレーム法によってY₂O₃膜を作製し、作製したY₂O₃膜に対し熱衝撃試験を実施し、熱衝撃耐性を調査した。