2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[13p-2Q-1~27] 6.4 薄膜新材料

2015年9月13日(日) 13:15 〜 20:30 2Q (231-1)

座長:西川 博昭(近畿大),田中 勝久(京大),名村 今日子(京大),篠田 健太郎(産総研)

13:45 〜 14:00

[13p-2Q-3] 電子線描画装置を用いたパターニンググラフェンに関する研究

〇(M2)伊崎 貴生1、久保田 弘1、松川 誠也1、西口 博樹1、正木 良武1、吉岡 昌雄2 (1.熊大院自然科学、2.熊大工)

キーワード：グラフェン、電子線