[13p-2Q-1~27] 6.4 薄膜新材料

[13p-2Q-4] 窒化チタン薄膜の微細加工によるプラズモニックナノドットアレイの作製

〇鎌倉 涼介¹、村井 俊介¹、大道 陽平¹、藤田 晃司¹、田中 勝久¹ (1.京都大工)

キーワード：表面プラズモンポラリトン、窒化チタン、プラズモニックアレイ

表面プラズモンポラリトン(SPP)は光によって金属表面の自由電子が集団的に振動する現象であり、金属表面に局在した増強電場を発生させる。しかしながら、現状ではプラズモニクス材料は金や銀などに限定されており、材料の制約が応用の拡がりを妨げている。本研究では、高品質の単結晶窒化チタン薄膜を作製し、微細加工を施すことにより窒化チタン粒子が周期的に配列したプラズモニックナノドットアレイを作製し、光学特性を評価した。