[13p-2S-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [13p-2S-4] インターリーブ型PN接合を有するシリコンマイクロリング装荷型マッハ・ツェンダー光変調器

〇本間 洋行¹、ゴータム ラジディープ¹、荒川 太郎¹、國分 泰雄¹ (1.横国大院工)

キーワード：シリコン光変調器、半導体

シリコンマッハ・ツェンダー光変調器(MZM)は光通信では基本的な素子である。またインターリーブ型PN接合はラテラル型PN接合よりも大きな変調性能を得られる新たな構造として報告されている。今回インターリーブPN接合を有するリング共振器(MRR)とMZMを組み合わせたMRR-MZMの作製、評価を行ったので報告する。